ГОСТ Р 8.628-2007

Все документы, представленные в каталоге, не являются их официальным изданием и предназначены исключительно для ознакомительных целей. Электронные копии этих документов могут распространяться без всяких ограничений.
Вы можете размещать информацию с этого сайта на любом другом сайте без каких-либо ограничений.

Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления


Обозначение стандарта:	ГОСТ Р 8.628-2007

Статус стандарта:	действующий

Название рус.:	Государственная система обеспечения единства измерений. Меры рельефные нанометрового диапазона из монокристаллического кремния. Требования к геометрическим формам, линейным размерам и выбору материала для изготовления

Название англ.:	State system for ensuring the uniformity of measurements. Single-crystal silicon nanometer range relief measures. Requirements for geometrical shapes, linear sizes and manufacturing material selection

Дата введения в действие:	01.02.2008

Область и условия применения:	Настоящий стандарт устанавливает требования к геометрическим формам и линейным размерам, а также к выбору материала для изготовления рельефных мер нанометрового диапазона из монокристаллического кремния для диапазона линейных измерений от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м. Настоящий стандарт распространяется на рельефные меры, предназначенные для проведения всех видов поверок растровых электронных измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.631 и сканирующих зондовых атомно-силовых измерительных микроскопов по ГОСТ Р 8.630 при проведении государственного метрологического контроля (надзора), а также на рельефные меры, используемые при калибровке указанных типов микроскопов

	c=&f2=3&f1=II001&l='>ОКС Общероссийский классификатор стандартов c=&f2=3&f1=II001017&l='>17 МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ c=&f2=3&f1=II001017040&l='>17.040 Линейные и угловые измерения * Включая геометрические характеристики (GPS) c=&f2=3&f1=II001017040001&l='>17.040.01 Линейные и угловые измерения в целом c=&f2=3&f1=II002&l='>КГС Классификатор государственных стандартов c=&f2=3&f1=II002016&l='>Т Общетехнические и организационно-методические стандарты c=&f2=3&f1=II002016008&l='>Т8 Государственная система измерений c=&f2=3&f1=II002016008008&l='>Т88 Методики поверки и метрологической аттестации c=&f2=3&f1=II003&l='> Тематические сборники c=&f2=3&f1=II003008&l='>ГСОЕИ Государственная система обеспечения единства измерений.